ICP光譜儀即電感耦合等離子體光譜儀，這種光譜儀根據(jù)處于激發(fā)態(tài)的待測元素原子回到基態(tài)時發(fā)射的特征譜線對待測元素進行分析，一般常用于無機元素的定性定量分析。霧化器作為ICP光譜儀的重要組件之一，其作用是將試液霧化。對于ICP光譜來說，霧化器的維護直接影響了檢測結果的好壞。

　　常見故障一：矩管點燃，循環(huán)水指示燈時閃時斷，火焰突滅不能工作。

　　原因：(1)循環(huán)水冷卻，系統(tǒng)泵壓不足；

　　(2)磁動儀表保護開關預值過高，經常處于長閉狀態(tài)，出現(xiàn)假保護現(xiàn)象。

　　解決方案：(1)在原有的循環(huán)水管路中串接增壓泵，增加整個水管路中的壓力；

　　(2)除去磁儀表開關，使水流直接進入矩管系統(tǒng)，保持長流水。

　　常見故障二：反射功率超設定值，矩管源點不著火。

　　原因：集成板741無輸出正電壓信號，使反射功率無法調整，控制電路失調，片子損壞。

　　檢修：更換集成塊741

　　常見故障三：按矩管電源前面板rf-on鍵，點不著火，矩管高壓耦合電容連續(xù)抖動，按鍵，燈不斷閃動，電容打火放電。

　　原因：高壓耦合雙連電容的高壓多股鍍銀線接觸不良，不斷打火發(fā)紅，電容值改變不穩(wěn)，導致矩管能量不能按預設值耦合，故無法點燃矩管。

　　解決方法：利用外套屏蔽鍍銀線的電纜代替高壓連線，用銀焊接上。