ICP單道掃描光譜儀從光源發(fā)出的光穿過入射狹縫后，反射到一個可以轉(zhuǎn)動的光柵上，該光柵將光色散后，經(jīng)反射使某一條特定波長的光通過出射狹縫投射到光電倍增管上進行檢測。光柵轉(zhuǎn)動至某一固定角度時只允許一條特定波長的光線通過該出射狹縫，隨光柵角度的變化，譜線從該狹縫中依次通過并進入檢測器檢測，完成一次全譜掃描;和多道光譜儀相比，單道掃描光譜儀波長選擇更為靈活方便，分析樣品的范圍更廣，適用于較寬的波長范圍。但由于完成一次掃描需要一定時間，因此分析速度受到一定限制。